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INA Direktantriebe

Planarantriebe

Planarantriebe sind bestens geeignet für Punkt-zu-Punkt Positionierungen mit Präzisionsanforderungen im µm-Bereich. Ein Planarantrieb kann auch senkrecht und über Kopf eingesetzt werden. Leistungsfähig wird das System, wenn auf einem Stator nicht ein, sondern mehrere Läufer arbeiten, die eine Vielzahl zusätzlicher Achsen im Arbeitsraum realisieren.

Der Planarmotor kann im Microschrittbereich gesteuert oder geregelt betrieben werden. Ausgestattet mit drei magnetischen Messköpfen wird er wie ein elektronisch kommutierter Gleichstrommotor in drei Koordinaten geregelt.

 
 
  

Vorteile

  • Einebenenprinzip: sehr genaue Führung in zwei Achsen ohne Zusatzaufwand
  • verschleißfreie Luftlagerung: konstante Parameter über 100 Mio. Hübe, stick-slip freie Bewegung
  • mehrere Läufer auf einem Stator: Optimierung von Abläufen
  • Arbeit in allen Lagen im Raum: konstruktive Freiheit
  • geringe bewegte Masse: hohe Dynamik
  • closed loop in 3 Koordinaten (x, y, phi): lagegeregelter Schrittmotor / integriertes, magnetisches 3-Koordinaten-Messsystem
  • integrierte Bremse: Sicherung durch Abschalten der Luft
  • verschiedene Bauformen: Open-frame-Konstruktionen, Brücken, Konstruktionen für zusätzliche Winkelverstellung
  • Leichtbau- oder Guss-Statoren: Optimierung der Statoren entsprechend dem Anwendungsfall
  • Reinraumtauglichkeit
 

Anwendungsbereiche

  • Chipkartenprozesstechnik und -bestückung
  • Lampenmontage mit Test
  • Lasertrimmen von SMD-Widerständen
  • Sortieren von Bauelementen
  • Übersetzen und Wenden von Speicherschaltkreisen
  • Transportsysteme
  • Pick and Place-Aufgaben
  • Leiterplattenbearbeitung
  • Mess- und Prüfmaschinen
  • Waferhandling